X射线光电子能谱仪(XPS)

发布人:张卫发表时间:2022-01-07点击:

仪器名称:X射线光电子能谱仪/X-ray Photoelectron Spectrometer

仪器厂家:美国Thermo Scientific

仪器型号:K-alpha

仪器价值$595,000.00

安装位置:117



一、原理介绍:

X 射线光电子能谱 (XPS),也被称为化学分析电子能谱 (ESCA),是分析材料表面化学性质的一项技术。 XPS 可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学价态和电子态。 用一束 X 射线激发固体表面,同时测量被分析材料表面 1-10 nm 内发射出电子的动能,通过对激发出的超过一定动能的电子进行计数,可以得到光电子谱。 光电子谱中出现的谱峰为原子中发射的一定特征能量电子。光电子谱峰的能量和强度可用于定性和定量分析除HHe以外所有表面元素。


二、技术指标:

单色化光源

射线源类型:微聚焦,单色化(Al Kα)最大功率:72W

束斑大小连续可调,非选区光阑限定,调节步长≤5µm

可提24个工作点使用,使用过程中,阳极靶无需更换,软件控制换点并调整校准;

能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):对Ag3d5/2峰能量分辨优于1.0 eV时,计数率强度>4000   kcps

能量分析器

采谱能量分析器:180°半球能量分析器;

能量扫描范围:01500 eV

通过能运行范围(FAT/CAE模式):5400eV

通过能调节模式:连续可调,最小能量步长1 eV

离子刻蚀枪

能量范围:100-4000 eV,最大束流: 4 µA

离子能量3 keV,束流3.5 µA时束斑不大于500 µm

离子束可控轴向旋转,束斑可调,自动对中;

同源双束中和枪

Ar离子源能量范围:0-5.0   eV

中和效果:PETO-C=O结构中C1s峰的半峰宽≤ 0.82 eV


三、主要功能与应用范围:

K-ALPHA X射线光电子能谱仪(XPS)为高性能、高效率的紧凑型XPS分析系统,可应用于几乎所有表面问题的研究,例如纳米材料、生物医学、半导体、集成电路等领域,是开展高水平分析测试及新材料研发工作不可或缺的仪器。


四、送样要求:

粉末样品提供20-30mg,体积一般铺满离心管尖端即可;块状及薄膜样品,长宽厚不超出5*5*3mm;纤维样品及易氧化样品建议当面送样。如果样品尺寸偏大,会按多个样品收费;默认一个样品只测试一个位置,需要测试多个位置将按照多个样品计费;块体和薄膜需要注明测试面;同一元素如需测试多个轨道峰,也算作多个元素;稀土类元素建议提供测试的结合能范围。


五、收费标准:

测试项目

院内

校内

校外

常规(≤5个元素窄谱)元

200

300

500

元素窄谱 /

50

80

100

深度剖析 /

100

200

300

线扫 /

100

200

300

面扫 /

100

200

300

表面清洁(Ar离子刻蚀)

/

150

数据分析(常规)

/样品

200