仪器名称:X射线光电子能谱仪/X-ray Photoelectron Spectrometer
仪器型号:K-alpha
仪器价值:$595,000.00
安装位置:117
一、原理介绍:
X 射线光电子能谱 (XPS),也被称为化学分析电子能谱 (ESCA),是分析材料表面化学性质的一项技术。 XPS 可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学价态和电子态。 用一束 X 射线激发固体表面,同时测量被分析材料表面 1-10 nm 内发射出电子的动能,通过对激发出的超过一定动能的电子进行计数,可以得到光电子谱。 光电子谱中出现的谱峰为原子中发射的一定特征能量电子。光电子谱峰的能量和强度可用于定性和定量分析除H、He以外所有表面元素。
二、技术指标:
单色化光源 |
射线源类型:微聚焦,单色化(Al Kα)最大功率:72W; 束斑大小连续可调,非选区光阑限定,调节步长≤5µm; 可提24个工作点使用,使用过程中,阳极靶无需更换,软件控制换点并调整校准; 能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):对Ag3d5/2峰能量分辨优于1.0 eV时,计数率强度>4000 kcps; |
能量分析器 |
采谱能量分析器:180°半球能量分析器; 能量扫描范围:0~1500 eV; 通过能运行范围(FAT/CAE模式):5~400eV; 通过能调节模式:连续可调,最小能量步长1 eV |
离子刻蚀枪 |
能量范围:100-4000 eV,最大束流: 4 µA; 离子能量3 keV,束流3.5 µA时束斑不大于500 µm; 离子束可控轴向旋转,束斑可调,自动对中; |
同源双束中和枪 |
Ar离子源能量范围:0-5.0 eV; 中和效果:PET的O-C=O结构中C1s峰的半峰宽≤ 0.82 eV; |
三、主要功能与应用范围:
K-ALPHA X射线光电子能谱仪(XPS)为高性能、高效率的紧凑型XPS分析系统,可应用于几乎所有表面问题的研究,例如纳米材料、生物医学、半导体、集成电路等领域,是开展高水平分析测试及新材料研发工作不可或缺的仪器。
四、送样要求:
粉末样品提供20-30mg,体积一般铺满离心管尖端即可;块状及薄膜样品,长宽厚不超出5*5*3mm;纤维样品及易氧化样品建议当面送样。如果样品尺寸偏大,会按多个样品收费;默认一个样品只测试一个位置,需要测试多个位置将按照多个样品计费;块体和薄膜需要注明测试面;同一元素如需测试多个轨道峰,也算作多个元素;稀土类元素建议提供测试的结合能范围。
五、收费标准:
测试项目 |
院内 |
校内 |
校外 |
常规(≤5个元素窄谱)元 |
200 |
300 |
500 |
元素窄谱 元/个 |
50 |
80 |
100 |
深度剖析 元/层 |
100 |
200 |
300 |
线扫 元/点 |
100 |
200 |
300 |
面扫 元/点 |
100 |
200 |
300 |
表面清洁(Ar离子刻蚀) 元/次 |
150 |
||
数据分析(常规) 元/样品 |
200 |