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超高分辨率场发射扫描电子显微镜(SEM)

1.仪器设备简介

高分辨率场发射扫描电子显微镜SU8010,在使用1kv减速功能后,分辨率提升到1.3nm,能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。电镜配有高性能X-射线能量色散谱仪,简称能谱仪(EDS),能在不损坏样品同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。

1)厂家型号:

国别厂家:日本日立公司

   号:SU8010

到货日期:2012.6.25

仪器价格:275.66万元

2)主要技术特点:

优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm

Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像;

可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能;

标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能;

仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。

3)主要技术指标:

加速电压:0.130 kV

观测倍率:201,200,000  

二次电子分辨率:1.0nm(加速电压15kV),1.3nm(加速电压1kV

工作距离:0.530mm

4)主要附件:X-射线能量色散谱仪,简称能谱仪(EDS),探测元素范围Be4-U92

5)主要功能:

  观测块状金属(不包括磁性材料)、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面的微区形貌;

  微粒或纤维形状的观察及尺寸分析;

  材料及电子器件失效分析的测试;

  高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料成分分析;      

  进行材料表面微区成分的定性、定量分析,在材料表面做元素的点、线、面分布分析。

  矿物学研究;土壤分析:观测粘土矿物的转变过程,判断粘土矿物成因。矿物成因,沉积史,沉积相分析:观测各类微细矿物的形态及表面微细结构,对稳定矿物的表面特征进行研究,可追溯矿物的成因、沉积史及沉积相,重塑地质作用过程。

  储集层研究;油气层中地层微粒研究:场发射扫描电镜能给出孔隙系统中微粒的类型、大小、含量、共生关系的资料,能有效的估计地层流体的临界流速和速敏程度,便于有针对性地采取措施防止或解除因分散、运移造成的损害。油气层孔喉的观测:场发射扫描电镜立体感强,更适于观察孔喉的形态、大小、及与孔隙的连通关系。对孔喉表面的粗糙度、弯曲度、孔喉尺寸的观测能揭示微粒的捕集、拦截的位置及难易程度,对研究微粒的运移和外来固相侵入有重要的意义。油气层损害的监测:利用背散射电子图像,对无机和有机垢的晶体形态、排布关系的观察,可以为抑垢、 除垢、筛选处理剂、优化工艺提供依据。

  工程地质研究;活断层的判断:根据断层泥中石英的表面微结构,判断活断层的活动时代、活动方式及活动次数。滑坡稳定性的研究:根据滑坡滑带土的微结构,判断滑坡的活动阶段、活动次数及活动方向,进而判断滑坡的稳定性。

6)应用领域:

广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。


2.测试项目

地质样品分析,岩石矿物学研究,微体生物结构及种属确定;煤及干硌根分析;

材料表面结构分析:块状金属、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面微区的形貌;

微粒或纤维形状的观察及尺寸分析;

纳米材料粒径测试和形貌观察;

材料及电子器件失效分析的测试;

商品的检验,产品生产的质量控制;


3.送样要求

干燥的固体样品;

样品无磁性、无挥发性、无腐蚀性、放射性等对设备和人员产生损害的样品。

上述①②两项必须同时具备,方可测试。


4.收费标准


 一般样品(二次电子,背散射电子像分析):校外:750/时;校内:500/时;材化:400/时。


  特殊样品(包括样品制备、喷碳、分析报告等):2500/


碎屑岩:1)分析储集层颗粒的大小、分选、磨圆;(2)分析胶结物特征(包括胶结物类型、存在方式、含量等);(3)分析空隙特征(包括空隙含量、大小、空隙连通情况、喉道大小、空隙类型);(4)分析成岩后生作用对砂岩储集层的影响(包括石英次生加大,溶解及淋滤作用)据此判断岩石储集性能。

石英砂与成因分析:1)样品的选择与处理;(2)石英砂表面结构观察:a砂粒的形态;b粒级的圆磨度;c特定沉积环境的标志;d成岩过程标志;e标志之间交接关系或叠置顺序,解译各标志所代表的各阶段动力特点以分析其沉积史。最终确定沉积环境

断层泥:判定断层的活动方式、活动次数、活动年代。

滑坡:判定滑坡的运动方式、活动次数、分析滑坡的稳定性,指示滑体的移动方向。

  成分分析(EDS能谱,范围:Be4U92):校外:800/时;校内:700/时;材化:600/时。校外:200/点;校内:100/点;材化:60/点。EDS元素分布:线扫:150/元素,面扫:200/元素。

材料表面形貌分析、测量层厚、粒度分析;同时可以对材料中微区元素定性、半定量分析、线分布、面分布。(样品表面需要抛光,非导电的材料需要喷碳)。EDS元素分析:

场发射扫描电镜样品制备: 金、喷碳,200/次。